O valor alvo da umidade relativa em uma sala limpa de semicondutores (FAB)

O valor alvo de umidade relativa em uma sala limpa de semicondutores (FAB) é de aproximadamente 30 a 50%, permitindo uma estreita margem de erro de ±1%, como na zona de litografia – ou ainda menos no processamento ultravioleta distante (DUV). zona – enquanto em outros lugares pode ser relaxado para ±5%.
Porque a umidade relativa tem uma série de fatores que podem reduzir o desempenho geral das salas limpas, incluindo:
1. Crescimento bacteriano;
2. Faixa de conforto de temperatura ambiente para funcionários;
3. Aparece carga eletrostática;
4. Corrosão metálica;
5. Condensação de vapor de água;
6. Degradação da litografia;
7. Absorção de água.

Bactérias e outros contaminantes biológicos (bolores, vírus, fungos, ácaros) podem prosperar em ambientes com umidade relativa superior a 60%. Algumas comunidades bacterianas podem crescer em umidade relativa superior a 30%. A empresa acredita que a umidade deve ser controlada na faixa de 40% a 60%, o que pode minimizar o impacto de bactérias e infecções respiratórias.

A umidade relativa na faixa de 40% a 60% também é uma faixa moderada para o conforto humano. Muita umidade pode fazer com que as pessoas se sintam entupidas, enquanto a umidade abaixo de 30% pode fazer com que as pessoas sintam a pele seca e rachada, desconforto respiratório e infelicidade emocional.

A alta umidade reduz, na verdade, o acúmulo de cargas eletrostáticas na superfície da sala limpa – um resultado desejado. A baixa umidade é ideal para acúmulo de carga e uma fonte potencialmente prejudicial de descarga eletrostática. Quando a umidade relativa excede 50%, as cargas eletrostáticas começam a se dissipar rapidamente, mas quando a umidade relativa é inferior a 30%, elas podem persistir por muito tempo em um isolador ou superfície não aterrada.

A umidade relativa entre 35% e 40% pode ser usada como um compromisso satisfatório, e as salas limpas de semicondutores geralmente usam controles adicionais para limitar o acúmulo de cargas eletrostáticas.

A velocidade de muitas reações químicas, incluindo processos de corrosão, aumentará com o aumento da umidade relativa. Todas as superfícies expostas ao ar ao redor da sala limpa são rápidas.