SOLUÇÃO de semicondutores BSLtech
O desenvolvimento de sua experiência na indústria de semicondutores geralmente requer salas limpas ou gabinetes de fluxo laminar com alta classe ISO (ISO 5 ou superior). Você está lidando com processos sensíveis a UV? Mesmo assim, a BSL fornece a sala limpa certa. As salas limpas possuem acabamento de parede de alta qualidade e iluminação com filtro UV. Através do uso de materiais antiestáticos (ESD) e barras antiestáticas no sistema de filtro, a carga estática no ar é neutralizada.
Quando a desgaseificação não é desejada, a BSL oferece uma sala limpa de materiais sem emissão de gases (PU). Esta tecnologia tem origem na indústria aeroespacial.
Processos típicos na indústria de semicondutores:
● Proteção de substratos e wafers de silício
● Pesquisa EUV
● Alinhadores de máscara
● Revestimento a vácuo, deposição de filme fino
● Aplicativos de impressão
● Óptica
Processos front-end e back-end